SiC Ceramic Graphite Heater

ʻO Semixlab SiC Ceramic Graphite Heater kahi mea hoʻomehana kiʻekiʻe i hana ʻia no nā kaiapuni wela wela i ka hana semiconductor holomua. Hoʻokumu ʻia mai kahi hui paʻa o ka silicon carbide (SiC) ceramic coating a me ka graphite maʻemaʻe kiʻekiʻe, hāʻawi kēia mea hoʻomehana i ka conductivity thermal kiʻekiʻe, ke kūpaʻa kemika, a me ka lōʻihi mechanical-e lilo ia i hopena kūpono no nā kaʻina wela i ka hana wafer.

Ka Hui Mea a me na Pono Kino Koko

●Mea kumu: Kiʻekiʻe kiʻekiʻe, maikaʻi-grained isostatic graphite

● Mea hoʻopili: ʻO ka mahu kemika i waiho ʻia (CVD) silicon carbide (SiC)

● ʻO ka ʻili paʻakikī: ≥ 2500 HV

●Hana wela: ~120–150 W/m·K (kumu graphite)

●Ka Mahana Hana: A hiki i 1500°C i loko o ka vacuum a i ʻole inert gas lewa

● Kū'ē ʻOxidation: Maikaʻi i nā kaiapuni i hoʻomalu ʻia ma muli o ka pale SiC pale

●Hili uila: ʻO ke kūpaʻa kūpono no ka hoʻomehana like ʻana a me ka pono o ka mana

● Pale ʻino: Kūʻē kiʻekiʻe i nā kinoea corrosive a me nā mea hana kemika (e laʻa, HCl, HF)

Hoʻohana kēia hoʻolālā composite i ka like ʻana o ka wela o ka graphite a me ka paʻa kemika o SiC, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka hilinaʻi lōʻihi ma lalo o nā kūlana paikikala wela.

Hoʻohana ʻana i nā mea hoʻomehana graphite seramika SiC

ʻO ka SiC ceramic graphite heaters he mea hiki ʻole ke hoʻololi i nā loulou kaʻina hana nui o ka hana semiconductor, a ʻo kā lākou mau hiʻohiʻona kiʻekiʻe e pili pono ana i ka maikaʻi, ka hana a me ka hana pono o nā mea semiconductor.

1. Waihona kiʻiʻoniʻoni lahilahi (PVD/CVD/ALD): Ma nā kaʻina hana ulu kiʻi ʻoniʻoni e like me ka hoʻoheheʻe ʻana i ka mahu kino (PVD), ka hoʻoheheʻe ʻana o ka mahu (CVD) a me ka waiho ʻana o ka papa atomic (ALD), hāʻawi ʻo SiC ceramic graphite heaters i kahi kūlana paʻa a kūlike. He mea koʻikoʻi kēia no ka hoʻomalu ʻana i ka ulu o ka ulu ʻana, ke ʻano aniani, ka kūlike a me ka maʻemaʻe o ke kiʻiʻoniʻoni, a pili pono i nā waiwai uila o ka hāmeʻa.

2. Ion implantation annealing: Ma hope o ka hoʻokomo ʻana i ka ion, e hana ʻia ka pōʻino i loko o ka wafer a hoʻāla i nā dopants. Hoʻohana ʻia ʻo SiC ceramic graphite heaters i nā kaʻina hana annealing kiʻekiʻe e kōkua i ka hoʻoponopono ʻana i ka pōʻino lattice, hoʻōla i nā atom doping, a hoʻopaʻa i ka hāʻawi doping e hōʻoia i ka hana uila a me ka hilinaʻi o ka hāmeʻa.

3. Kaʻina hoʻolaha: I loko o ka umu diffusion, SiC ceramic graphite heaters
hoʻohana ʻia e hāʻawi i nā wela kiʻekiʻe kūpono a kūpaʻa e hāpai i ka hoʻolaha ʻana o nā ʻātoma doping i loko o ka wafer silicon e hana ai i nā ʻāpana P-type a i ʻole N-type, a laila kūkulu i ke ʻano o nā mea semiconductor like ʻole.

4. Epitaxial ulu: ʻO ka ulu ʻana o ka epitaxial kahi hana koʻikoʻi i ka ulu ʻana o nā papa semiconductor kiʻekiʻe. Hiki i ka SiC ceramic graphite heaters ke hāʻawi i ka mana wela kūpono e hōʻoia i ka hoʻohālikelike ʻana o ka lattice ma waena o ka papa epitaxial a me ka substrate, e hoʻemi i nā hemahema, a hoʻomaikaʻi i ka like ʻole a me ka maʻemaʻe o ka papa epitaxial.

5. Hoʻomaʻemaʻe a hoʻomaloʻo ma hope o ka etching: Ma kekahi mau ʻanuʻu hoʻomaʻemaʻe a hoʻomaloʻo ma hope o ka hoʻomaloʻo ʻana, pono ka hoʻomehana kūpono e hoʻolalelale i ka evaporation a i ʻole ka mālama wela. ʻO ka pale ʻana i ka corrosion a me ka maʻemaʻe kiʻekiʻe o ka SiC ceramic graphite heaters he koho maikaʻi loa ia e pale aku i ka lua.

6. Wafer thermal lapaʻau: I nā pae like ʻole o ka hana semiconductor, pono nā wafers i nā ʻano lapaʻau wela like ʻole e hoʻomaikaʻi i nā waiwai waiwai, hoʻomaha i ke kaumaha, a i ʻole e hoʻāla i nā papa hana. Hoʻokō nā mea hoʻomehana graphite SiC i kēia mau koi mālama wela me kā lākou pane wikiwiki a me ka hiki ke hoʻomalu i ka wela.

Ua kūpaʻa ʻo Semixlab i ka hāʻawi ʻana i nā huahana mea hoʻomehana graphite seramika kiʻekiʻe SiC no nā kaʻina semiconductor e hoʻokō i kāu mau pono kūʻokoʻa ma ke kahua o ka hana semiconductor. ʻO ke koho ʻana i kā mākou SiC ceramic graphite heater, ʻo ia hoʻi ke koho ʻana i kahi kaʻina hana kiʻekiʻe, kahi pōʻai hana ʻoi aku ka lōʻihi a me kahi kaʻina hana paʻa. Manaʻo nui mākou e lilo i hoa pili lōʻihi ma Kina.