Na apo kalakala i uhi ia PYC

I loko o ke kaiapuni koi o ka silicon carbide (SiC) hoʻokahi kapuahi ulu ulu, ʻo PYC (Pyrolytic Carbon) i uhi ʻia i nā apo graphite he mea pono ʻole. Hoʻokumu ʻia kēia mau apo kiʻekiʻe e hāʻawi i ka pale wela koʻikoʻi a me ke kākoʻo kūkulu ʻana i nā kaʻina hana wela kiʻekiʻe. Aia ko lākou waiwai nui i ke kū'ē kūʻokoʻa kiʻekiʻe, ka inertness kemika, a me ka hoʻohālikelike ʻole ʻana o ka uhi PYC me nā ʻano ulu ulu SiC.

Ⅰ. Nā kuleana kikoʻī

He kuleana koʻikoʻi nā apo graphite i uhi ʻia ʻo Semixlab PYC i ka hōʻoia ʻana i ka ulu maikaʻi a me ka ʻole o ka haumia o nā kristal hoʻokahi SiC:

1. Palena Kiʻekiʻe Thermal Field

Kū'ē Kū'ē Kū'ē: Hiki i ka Graphite ke ho'ohāhā ma nā mahana ma luna o 500°C. ʻO ka uhi ʻana o ka PYC paʻa e hana i kahi pale impermeable, e hoʻokaʻawale pono i ka substrate graphite mai ka oxygen. Hoʻonui nui kēia i ke ola o ke apo graphite, e hōʻemi ana i ka pono o ka hoʻololi pinepine ʻana.

Hoʻemi ʻia ka Volatilization Maʻemaʻe: Ma nā mahana wela ma luna o 2000 ° C i koi ʻia no ka ulu ʻana o SiC, hiki i ka graphite hoʻomaʻamaʻa ʻole ke hoʻokuʻu i nā mea haumia ʻole, e like me nā ion metala, hiki ke hoʻohaumia nui i ka kristal hoʻokahi SiC. Mālama ka papa PYC i kēia, e hōʻoia i ka maʻemaʻe o kāu mau kristal ulu.

2. Hoʻonui Paʻa Kemika

Kū'ē i ka Si/C Vapor Corrosion: I ka wā o ka ulu ʻana o SiC, hoʻoheheʻe ka mea i loko o ka mahu Si/C. Hāʻawi ka uhi PYC i kahi pale paʻa, e hōʻemi ana i ka ʻinoʻino a me ka hoʻoheheʻe ʻana o ke apo graphite e kēia mau ʻano mea hoʻolalelale.

Kāohi ʻana i ke komo ʻana o ka kalapona: Hiki i ke kalapona keu ke komo ʻole i loko o ka hoʻoheheʻe SiC, e hoʻopōʻino i ka maʻemaʻe aniani. Hoʻopau maikaʻi kā mākou uhi PYC i ka infiltration kalapona, mālama i ka pono a me ka maikaʻi o kāu mau kristal SiC.

3. Kākoʻo Mechanical ikaika

Hoʻonui i ka pale ʻana i ka lole: ʻO ka paʻakikī kiʻekiʻe o ka uhi PYC e hoʻonui nui i ka pale ʻana o ke apo graphite. Hoʻemi kēia i ka hoʻohaʻahaʻa ʻana ma lalo o ka haʻalulu wela a i ʻole ke kaumaha mechanical, e hāʻawi ana i ka paʻa holoʻokoʻa o kāu kaʻina ulu.

Ⅱ. Nā noi nui i loko o nā kapuahi hoʻonui ʻo SiC

Hoʻohana maikaʻi ʻia nā apo graphite i uhi ʻia e PYC i nā wahi koʻikoʻi i loko o nā kapuahi ulu SiC:

● Nā apo kākoʻo Crucible: Hoʻonoho ʻia ma kahi o ka SiC source crucible (maʻamau he graphite crucible), he mea nui kēia mau apo no:

-Maintaining Thermal Field Uniformity: Kōkua lākou i ka hōʻemi ʻana i nā gradients wela, a laila e hōʻemi ana i nā hemahema kristal a hoʻomaikaʻi i ka ulu ulu.

-Ka pale ʻana i ka ʻino: Hoʻokaʻawale lākou i ka crucible graphite mai nā ʻāpana umu ʻē aʻe, e pale aku i ka hoʻopili pololei ʻana a me ka hiki ke hoʻohaumia.

● Nā mea hoʻomehana: Ke hoʻohana ʻia ma ke ʻano he insulation layer no ka induction a i ʻole nā ​​​​mea hoʻomehana kū'ē, hoʻomaikaʻi ka uhi PYC i ka maikaʻi o ka hoʻomehana a hoʻemi i ka nalowale o ka ikehu, e alakaʻi ana i nā hana ʻoi aku ka maikaʻi.

● Nā apo pale wela wela: I loko o ka PVT (Physical Vapor Transport) ulu ulu, PYC coated graphite apo he mea hoʻohui no ka noʻonoʻo ʻana i ka wela a me ka hoʻomaikaʻi ʻana i ka hāʻawi ʻana i ka mahana, he mea koʻikoʻi ia no ka hoʻomalu ulu ʻana o ka kristal.

Ⅲ. Hiki ke hoʻololi i ke kaʻina hana

Hoʻolālā ʻia kā mākou mau apo graphite uhi PYC no ka hoʻohui pono ʻana a me ka hana maikaʻi loa i loko o kāu kaʻina ulu SiC:

● Mānoanoa uhi pololei: Hoʻohana pinepine mākou i ka mānoanoa PYC o 10-100 μm. Hoʻomalu pono ʻia kēia laulima, no ka mea, hiki i ka uhi ʻana i ka mānoanoa ke alakaʻi i ka pohā, ʻoiai ʻo ka mea lahilahi ke hāʻawi i ka pale pono ʻole.

● Ke kaʻina hana hoʻomoe kiʻekiʻe: Hoʻokumu ʻia ka papa PYC mānoanoa ma ka ʻili graphite ma o ke kaʻina hana Chemical Vapor Deposition (CVD). Loaʻa kēia i ka hoʻoponopono pololei ʻana o ka mahana (maʻamau 800–1200°C) a me nā kahe kahe o ke kinoea (e laʻa, CH₄/H₂ hui ʻia) e hōʻoia i ka maikaʻi o ka uhi ʻana.

● Kūlike like ʻole: Hōʻike kā mākou mau apo graphite i uhi ʻia e PYC i ka launa pū ʻana me ke alakaʻi ʻana i nā ala ulu SiC, me ka PVT (Physical Vapor Transport) a me nā ʻano sublimation kiʻekiʻe, me ka ʻole o ka hopena maikaʻi ʻole i nā kinetics ulu kristal.