0200-10073 Mea Hoʻokaʻawale Quartz 200mm

ʻO ka AMAT 0200-10073 Insulator Quartz 200mm kahi ʻāpana quartz fused i hana ʻia me ka pololei i hoʻolālā ʻia e hāʻawi i ka insulation uila a me ke kūpaʻa kūkulu i loko o nā lako hana plasma semiconductor. Hoʻohana pinepine ʻia ia ma ke ʻano he insulator cathode i nā ʻōnaehana etch a me deposition 200mm.

Hana ʻia mai ka quartz maʻemaʻe ultra-kiʻekiʻe, ua hoʻomohala kūikawā ʻia kēia ʻāpana e hana i nā wahi koi e pili ana i:

● Mana RF alapine kiʻekiʻe

● Ka hōʻike ʻana i ka plasma ikehu kiʻekiʻe

● Nā kemika hana reactive (e laʻa, fluorine, nā kinoea chlorine)

● Nā kūlana pōʻaiapuni wela wikiwiki

ʻAʻole e like me nā ʻāpana quartz pale maʻamau, hoʻokani kēia insulator i kahi hana uila koʻikoʻi, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka hoʻopili RF paʻa a me ka pale ʻana i nā ala i manaʻo ʻole ʻia i loko o ke keʻena.

Ma Semixlab Technology, hana ʻia ka mea like ʻo AMAT 0200-10073 ma lalo o ka kaohi koʻikoʻi e hoʻokō a ʻoi aku paha i nā kikoʻī OEM, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka hana hilinaʻi a hana hou ʻia i ka hana semiconductor holomua.

Kūlana ma nā Lako a me ke Kūlana Hana

Kahi hoʻonohonoho

Hoʻokomo pinepine ʻia ka Quartz Insulator:

● A puni a i ʻole i loko o ka ʻaha cathode haʻahaʻa

● Kokoke i ka chuck electrostatic (ESC)

● Ma ka ʻāpana electrode i hoʻohana ʻia e RF o ke keʻena

Aia ia ma ka ʻāpana hana plasma koʻikoʻi a me ka launa pū ʻana o RF, kahi e pono ai ka hoʻokaʻawale uila.

Nā Hana Nui

1. Hoʻokaʻawale Uila (Hana Nui)

Hana ka ʻāpana ma ke ʻano he pale dielectric hana kiʻekiʻe, e hāʻawi ana:

● Ka hoʻokaʻawale ʻana ma waena o nā electrodes conductive a me nā ʻano o ke keʻena

● Kāohi ʻana i ka liki RF a me nā ala au i manaʻo ʻole ʻia

2. Hoʻopaʻa ʻana o ke kahua RF

Ma ka mālama ʻana i nā palena uila i wehewehe ʻia, kōkua ka insulator:

● Hoʻopaʻa i ka pono o ka hoʻopili ʻana o RF

● E mālama i ka hoʻolaha like ʻana o ka nui o ka plasma

3. Hoʻonui i ka Paʻa Plasma

Hāʻawi ka mea hoʻokaʻawale quartz i:

● Ka hoʻopaʻa ʻana o ka plasma i kāohi ʻia

● Hoʻemi ʻia ka walaʻau uila a me ka paʻa ʻole

Pōmaikaʻi: ʻOi aku ka like o ka hoʻolaha ʻana o ka ikehu ion a me nā hopena hana kūlike.

4. Kākoʻo Mekanika a me ke Kūpaʻa Mahana

Me kona ʻano cylindrical a paipu paha, hāʻawi pū ka ʻāpana i:

● Kākoʻo kūkulu no nā ʻākoakoa cathode

● Kū'ē wela maikaʻi loa ma lalo o nā kūlana hoʻomehana cyclic

Nā ʻano hāʻule maʻamau

Ma ke ʻano he ʻāpana uila koʻikoʻi a me ka plasma-e kū pono ana, ua pili ka Quartz Insulator i kekahi mau ʻano hana hōʻino:

1. Ka hōʻino ʻana o ka uila

● Hoʻokumu ka haumia o ka ʻili i nā ala alakaʻi

● Hoʻemi ʻia ka hana dielectric i ka hala ʻana o ka manawa

Hopena: Paʻa ʻole o ka RF, nā au leakage, a i ʻole ka neʻe ʻana o ke kaʻina hana.

2. ʻErosion i hoʻoulu ʻia e ka Plasma

● ʻO ka hoʻouka ʻana o ka ion e alakaʻi ai i ka ʻoʻoleʻa o ka ʻili

● Hoʻololi ka nalowale mālie o nā mea i ke ʻano

Hopena: Nā loli i ka hoʻolaha ʻana o ke kahua uila a me ke ʻano o ka plasma.

3. Ka Pōʻino o ke Arc (Hoʻokuʻu Uila)

● Hoʻoulu ke kahua uila kiʻekiʻe kūloko i ka arcing

● Ke kuni ʻana o ka ʻili a i ʻole ka lua ʻana

Hopena: Haumia nui a me ka hōʻino ʻia o ke keʻena.

4. Ka haki ʻana o ke kaumaha wela

● Nā pōʻaiapuni hoʻomehana a hoʻoluʻu hou ʻia

● Hoʻolaha nā māwae liʻiliʻi i ka hala ʻana o ka manawa

Hopena: Ka hāʻule ʻana o ka mīkini a me ka manawa hana ʻole i manaʻo ʻole ʻia.

5. Hoʻokumu ʻāpana

● Hoʻokuʻu ka quartz kahiko i nā micro-particles

● Hoʻonui ka hōʻino ʻana o ka ʻili i ka pilikia o ka haumia

Hopena: Ka pohō o ka hua a me ka hoʻonui ʻana i ka hemahema.

No ke aha e koho ai i ka ʻenehana Semixlab?

Me ka ʻike hohonu i nā mea semiconductor a me nā ʻāpana hana, hāʻawi ʻo Semixlab Technology i nā hoʻonā quartz hana kiʻekiʻe i hana ʻia no nā wahi plasma koi:

✔ ʻO ka Quartz Maʻemaʻe Loa-Kiʻekiʻe: Hoʻēmi i ka haumia a hōʻoia i ka hana dielectric paʻa.

✔ Mīkini Kūpono: Nā hoʻomanawanui paʻa no ka mamao uila kūlike a me ka hoʻohālikelike ʻana me OEM.

✔ Ka Hana ʻIli i Hoʻomaikaʻi ʻia: Hoʻemi i ka hana ʻana o nā ʻāpana a hoʻonui i ka kūlike o ka plasma.

✔ Hoʻolōʻihi ʻia ke ola lawelawe: Hoʻomaikaʻi i ke kūpaʻa ma lalo o ka ʻike ʻana o RF a me ka plasma, e hoʻohaʻahaʻa ana i ke kumukūʻai o ka loaʻa ʻana (CoO).

✔ Hoʻolālā Kūlike me OEM: Hoʻohui maʻalahi me nā kahua AMAT me ka ʻole o ka hoʻopilikia ʻana i ke kaʻina hana.

Hoʻohana nui ʻia ka AMAT 0200-10073 Insulator Quartz i:

● Nā ʻōnaehana Etch 200mm Nā Mea i Hoʻopili ʻia

● Nā kaʻina hana etching plasma (poly, dielectric, conductor etch)

● Nā keʻena CVD a me PVD e pono ai ka insulation RF

He mea koʻikoʻi loa ia i ka hana ʻana o nā semiconductor kahiko a me nā mea hana kūikawā, me:

● Nā mea hana mana (IGBT, SiC)

● Hana ʻana o MEMS

● Hana ʻana i nā hōʻailona analog a me nā hōʻailona hui pū ʻia