ʻO ka Liner Ceramic Luna 0200-04654

I nā kaʻina hana hoʻokomo ʻili lahilahi semiconductor holomua, pili pololei ke kūpaʻa o ke kaiapuni keʻena i ke ʻano like o ke kiʻiʻoniʻoni, ka kaohi ʻāpana, a me ka pono o ka hana o nā lako. Ma ke ʻano he ʻāpana keʻena koʻikoʻi o ka paepae PECVD o ka Applied Materials (AMAT) Producer series, he kuleana koʻikoʻi ka AMAT 0200-04654 Top Ceramic Liner i ka pale ʻana i ke keʻena hana, ka hoʻomaikaʻi ʻana i nā ʻano kahe kinoea, a me ka hōʻemi ʻana i ka pilikia o ka haumia ʻāpana. Hoʻohana nui ʻia kēia ʻāpana i loko o nā keʻena hana PECVD e pili ana iā SiH₄ (silane) a ʻo ia kekahi o nā mea hoʻopau nui no ka mālama ʻana i ka hana paʻa lōʻihi a me nā hana hua kiʻekiʻe.

ʻO ka AMAT 0200-04654 Top Ceramic Liner ka mea maʻamau i hana ʻia mai ka mea keramika alumina maʻemaʻe kiʻekiʻe. Loaʻa i ka alumina maʻemaʻe kiʻekiʻe nā waiwai dielectric maikaʻi loa, ke kūpaʻa wela kiʻekiʻe, a me ke kūpaʻa i ka pala plasma, e hiki ai iā ia ke mālama i ke kūpaʻa kūkulu i ka wā lōʻihi ma nā wahi hana PECVD. Ke hoʻohālikelike ʻia me nā mea metala, hoʻemi maikaʻi nā keramika Alumina i ka pilikia o nā hopena ma waena o nā kinoea hana a me ke ʻano o ke keʻena, hoʻemi i nā kumu o ka haumia metala, a hoʻomaikaʻi nui i ka maʻemaʻe o loko o ke keʻena. ʻO kā lākou inertness kemika maikaʻi loa e hiki ai iā lākou ke kū i nā wahi e loaʻa ana nā kinoea hana maʻamau a me nā kinoea hoʻomaʻemaʻe e like me SiH₄, N₂O, NH₃, a me NF₃, e hoʻokō ana i nā koi o ka hana semiconductor holomua no nā pae particulate haʻahaʻa, ka maʻemaʻe kiʻekiʻe, a me ka hilinaʻi kiʻekiʻe.

Ma ke kahua AMAT Producer PECVD, aia ka 0200-04654 Top Ceramic Liner ma ka ʻaoʻao o luna o ke kahawai pumping peripheral o ke keʻena hana a lawelawe ma ke ʻano he ʻāpana koʻikoʻi o ka ʻōnaehana liner pump o ke keʻena. Hoʻonoho pinepine ʻia ma waho o ka wahi hana wafer, hana pū ia me ka Middle Ceramic Liner a me ka Bottom Ceramic Liner e hana i kahi ʻano pale liner keramika piha. ʻAʻole wale kēia ʻāpana e hoʻokaʻawale i nā huahana deposition mai ka hoʻopili pololei ʻana me nā paia o ke keʻena metala akā hoʻomaikaʻi pū i ka hoʻolaha ʻana o ke kahua kahe hoʻopau, e kōkua ana i ka mālama ʻana i kahi kūlana kaomi paʻa a me ke kahe kinoea i loko o ka wahi hana. Ma ka hoʻomalu pono ʻana i ka hōʻiliʻili waihona a me ka hoʻemi ʻana i ka pilikia o ka hoʻokuʻu ʻana o nā ʻāpana, he kuleana koʻikoʻi ko ka Top Ceramic Liner i ka hoʻomaikaʻi ʻana i ke ʻano like o ka kiʻiʻoniʻoni, ka hoʻemi ʻana i ka nui o nā hemahema, a me ka hoʻolōʻihi ʻana i ke kaʻina hana mālama keʻena (PM Cycle).

Ma ke ʻano he ʻāpana hoʻopau koʻikoʻi e hōʻike mau ʻia ana i nā pōʻaiapuni waiho ʻana a me ka hoʻomaʻemaʻe ʻana, e emi mālie ana ka hana o ka Top Ceramic Liner i ka hala ʻana o ka manawa. Ma muli o ka ʻike nui i nā wafer fabs, ʻo nā ʻano hāʻule maʻamau e komo pū me ka hoʻokahe ʻana o nā ʻāpana i hana ʻia e ka hōʻiliʻili ʻana o ka ʻili i waiho ʻia, ka ʻili ʻana o ka ʻili, nā microcracks i hoʻokumu ʻia e ke kaumaha wela, ka etching plasma, a me ka delamination kūloko. Ke hōʻiliʻili mau nā huahana hana ma luna o ka ʻili seramika, hiki ke loaʻa ka haki ʻana o ka ʻili a me ka delamination i ka wā hoʻomaʻemaʻe a i ʻole ka paikikala wela, a laila e hana ana i nā kumu o ka haumia particulate. Hiki i ka hana wela kiʻekiʻe lōʻihi ke hoʻololi i ka microstructure o ka ʻili seramika, e alakaʻi ana i ka hoʻonui ʻana o ka ʻili a no laila e hoʻopilikia i ka hana o ka mana particulate. Ke pālahalaha nā māwae i nā wahi koʻikoʻi, hiki iā lākou ke hana i ka hāʻule ʻana o ka hale kūloko, e hoʻopilikia hope loa i ke kūpaʻa o ke kaʻina hana a me ka manawa hana o nā lako. No laila, ʻo ka hoʻokumu ʻana i kahi ʻōnaehana hoʻokele ola ʻepekema, ka nānā mau ʻana i nā kūlana o ka ʻili, a me ka hoʻokō ʻana i nā pani pale he mau hana koʻikoʻi ia e hōʻoia i ka hana paʻa o nā kaʻina hana PECVD.

Ma ke ʻano he kahua e loea ana i nā ʻāpana lako semiconductor a me nā hoʻonā mea holomua, ua kūpaʻa ʻo Semixlab i ka hāʻawi ʻana i nā ʻāpana ʻokoʻa semiconductor kiʻekiʻe a me nā lawelawe kākoʻo loea i nā mea hana wafer honua, nā OEM lako, nā mea hoʻolako ʻāpana ʻokoʻa, a me nā hui mālama lako.

No ka AMAT 0200-04654 Top Ceramic Liner, ua hoʻokumu ʻo Semixlab i kahi ʻōnaehana kaohi maikaʻi koʻikoʻi. Hoʻokō ʻia nā kūlana koʻikoʻi ma ke kaʻina holoʻokoʻa—mai ke koho ʻana i nā mea maka a me ka mīkini pololei a hiki i ka nānā ʻana i nā dimensional a me ka hōʻoia ʻana i ka maikaʻi o ka ʻili—e hōʻoia i ka mālama ʻana o ka huahana i ka hana paʻa ma lalo o nā kūlana hana wela kiʻekiʻe, ka ukana hoʻokahe kiʻekiʻe, a me nā kūlana hana paʻakikī. I ka manawa like, me ka hoʻohana ʻana i kāna mau kumuwaiwai kaulahao lako honua a me ka ʻike nui o ka ʻoihana, kōkua ʻo Semixlab i nā mea kūʻai aku e hoʻopōkole i nā pōʻaiapuni kūʻai, hoʻomaikaʻi i ka hoʻokele waihona ʻāpana ʻokoʻa, a hoʻemi i ka uku holoʻokoʻa o ka loaʻa ʻana (TCO). Inā no nā pono hoʻololi OEM, nā papahana hoʻoponopono lako, a i ʻole nā ​​​​hoʻolālā hoʻolako ʻāpana ʻokoʻa lōʻihi, hāʻawi ʻo Semixlab i ke kākoʻo hilinaʻi, kūpono, a ʻoihana.