Ke Kuleana o nā Susceptors i uhi ʻia e SiC ma nā kaʻina hana Veeco LED Epitaxy

He wahi wela a koʻikoʻi loa ke kaiapuni epitaxy LED, a ʻo kahi loli iki o ke kaiapuni e hopena i ka maikaʻi o ka wafer ʻokoʻa. He ʻāpana koʻikoʻi ka Susceptor e noho ana i loko o ka reactor. Kākoʻo ia i ka wafer i ka wā o ka ulu ʻana o ka epitaxy, he kuleana koʻikoʻi nō hoʻi ia i ka hoʻolaha like ʻana o ka wela i ka wafer holoʻokoʻa. Hoʻohana ka hapa nui o nā ʻōnaehana epitaxy LED Veeco i kahi susceptor graphite i uhi ʻia me ka uhi SiC. Hiki i ka uhi SiC ke pale i ka graphite mai ka hōʻino ʻia e ka wela a me nā kemika, a hāʻawi i kahi ʻano LED like.

Pehea e hoʻomaikaʻi ai ka uhi ʻana o CVD SiC i ka like ʻana o ka Thermal ma Veeco EPIK Tools

He mea nui ka mālama ʻana i ka wafer i kahi mahana kūpono i ka wā e hana ai i nā LED kiʻekiʻe. ʻO Cvd sic Hoʻokumu ka uhi ʻana i kahi ʻili paʻa laumania ma luna o ka susceptor graphite e hāʻawi like ana i ka wela i ka wā o ka ulu ʻana o ka substrate SiC LED.

ʻOiai inā ʻaʻohe Cvd sic uhi i hoʻohana ʻia, hiki i nā ʻokoʻa liʻiliʻi i loko o nā graphite pākahi ke alakaʻi i nā ʻokoʻa i nā ʻano hoʻoili wela o ka ʻili, akā naʻe me kahi uhi CVD SiC kiʻekiʻe aʻe e hoʻonui nui ʻia nā ʻano hoʻoili wela o ka ʻili a no laila ʻoi aku ka like o ka ʻano thermal. Ua loaʻa i kekahi hale hana nā pilikia me nā kala ʻole like ma waena o kāna mau wafers, i hoʻokumu ʻia e ka hoʻomehana like ʻole ma kona ʻili. Eia nō naʻe, me ka hoʻohana ʻana i kahi CVD SiC mānoanoa a kiʻekiʻe a CVD TaC ua lanakila ka uhi ʻana i kēia paʻa ʻole.

Nā hemahema o ka ʻili a me nā ʻōpala o ka uhi ʻana o CVD SiC a me Maʻemaʻe kiʻekiʻe CVD SiC maka hiki ke hoʻonui i ka ʻokoʻa no ka mea e hana lākou i nā helu like ʻole o ka ulu ʻana o nā mea, a i ʻole nā ​​​​"wahi wela" ma ka ʻili uhi. Nānā mau ʻia nā uhi no ke komo ʻana a me nā māwae e nā mea hana he nui ma ka nānā ʻana i ke kūlana o ka uhi CVD SiC ma hope o kekahi mau pōʻaiapuni hoʻomehana. Hiki ke hoʻohuli ʻia ka susceptor ma ke kaʻina hana CVD i mea e hoʻonui ai i ka like a me ke kūpaʻa o ka uhi CVD SiC.

ʻOiai naʻe, ʻaʻole hiki i ka hoʻohana ʻana i ka uhi CVD SiC ke hoʻopau i nā ʻano like ʻole akā e ʻoi aku ka maʻalahi o ka hana mau ʻana i nā mea kumu no ka hana ʻana o LED ma kahi pae nui.

ʻO ka hana a nā mea hoʻopaʻa Graphite maʻemaʻe kiʻekiʻe ma ka LED Epitaxy

Kākoʻo ka susceptor a mālama i ka wafer i kahi mahana paʻa ʻoiai e ulu ana ka papa kristal. Hoʻohana pinepine ʻia ka graphite, a ʻo ka ʻoiaʻiʻo, pono e hoʻohana ʻia kahi graphite maʻemaʻe kiʻekiʻe no ka mea hiki ke hoʻohana ʻia i nā mahana kiʻekiʻe loa a ʻaʻole e hoʻololi.

Kōkua kēia conductivity thermal kiʻekiʻe i ka hoʻoili ʻana i ka wela mai nā mea hoʻomehana i ka wafer a me ka hoʻopaʻa ʻana i ka mahana o ka wafer ʻoiai e ulu ana ka papa. ʻOiai ʻo nā loli liʻiliʻi o ka mahana e hoʻololi ai i ka ulu ʻana o ke kristal, pono ia e mau loa e like me ka hiki.

He mea nui ka maʻemaʻe i ka graphite i hoʻohana ʻia. Loaʻa i ka graphite haumia ka metala a me nā mea haumia ʻē aʻe e hoʻokuʻu ʻia mai ka susceptor i ka wā e hoʻomehana ai a waiho ʻia ma luna o ka wafer e hana ana i nā kīnā kristal.

Ua ʻike kekahi mau mea hana i ka piʻi ʻana o nā LED kīnā me ka hoʻohana ʻana i ka graphite maʻemaʻe ʻole. ʻOi aku ka maikaʻi o nā hopena o ka graphite maʻemaʻe kiʻekiʻe a me nā nānā ʻana i ʻoi aku ka paʻakikī. ʻO kekahi pilikia ka palahalaha o ka susceptor.

Ma hope o kekahi mau pōʻaiapuni hoʻomehana a hoʻoluʻu paha, hiki i ka susceptor ke hoʻololi i ke ʻano. Hoʻopilikia kēia hoʻololi i ke kahe o ke kinoea a me ke kūlana o ka wafer, ka mea e hoʻopilikia ai i ke kūpaʻa o ka ulu ʻana o ka papa.

Hoʻemi i nā pilikia ʻāpana ma Epitaxy ma o ka hoʻolālā ʻili i hoʻonui ʻia

Hoʻomaka ka hapa nui o nā pilikia ʻāpana me nā ʻili e pili ana nā ʻāpana a me nā kinoea. Hiki i nā mea hoʻopaʻa, nā liner a pēlā aku ke hoʻokuʻu mālie i nā ʻāpana me ka manawa ke kahakaha ʻia a ʻaʻahu ʻia paha ko lākou mau ʻili.

I loko o nā kinoea hana wela kiʻekiʻe, nā māwae liʻiliʻi a i ʻole ke komo ʻana o ka papa uhi e hana i nā ʻāpana liʻiliʻi e hele ma o ka reactor a waiho ma luna o nā wafers. Me ke anawaena lawa, hoʻokahi ʻāpana ma luna o hoʻokahi ʻili wafer e hopena i hoʻokahi kīnā ma ka LED hope loa.

E hōʻemi ka laumania i ka manawa kūpono no ka hoʻokuʻu ʻana o nā ʻāpana, akā naʻe, pono e hiki ke kū i ka paio wela pinepine. Hiki i kekahi uhi ke ʻike ʻia he ʻili maikaʻi i ka mahana o ka lumi ʻoiai e hoʻomohala ana i nā micro-cracks ma hope o nā manawa he nui o ka holo ʻana. Hoʻomaka pinepine nā pilikia ʻāpana i ka wā e ʻaʻahu ʻia ai nā ʻāpana uhi.

No nā ʻāpana hana he nui, aia ka hōʻino ma ka lihi no ka mea ua kau kēia ʻāpana i ke kaumaha kiʻekiʻe loa. Ma ka kaohi ʻana i ka maikaʻi, ka mānoanoa o ka uhi ʻana a me ka nui o ke kaumaha ma nā lihi, hiki iā mākou ke hōʻemi i nā ʻaʻahu.

No laila, i mea e pale ai i ka ʻili ʻana o ka papa uhi ma hope o kēlā me kēia holo ʻana, pono e maikaʻi ka nakinaki ʻana o ka uhi a me nā substrates graphite. ʻO ka nānā pinepine ʻana i ka mālamalama ʻālohilohi a i ʻole ka laʻana e hāʻawi i kahi hōʻike no kēia mau pilikia e ulu ana.

Ke hoʻohālikelike nei i nā Bare Graphite a me nā SiC-Coated Susceptors i ka hana LED

ʻOiai ua hoʻohana ʻia nā mea hoʻopili graphite ʻole a me nā mea hoʻopili SiC i ka hana ʻana o ka LED, hana like ʻole lākou i kā lākou mau ʻāpana hana.

ʻO nā kumu i hoʻohana ʻia ai ka graphite ʻōlohelohe no ka mea he kūpono ia i ka hoʻoili wela a he ʻili ākea nui e ʻae i ka wela, a he lohi iki ka hoʻokuʻu ʻana o nā ʻāpana mai kona ʻili ma hope o kekahi mau hola o ka holo ʻana, ʻoiai he mau hemahema ʻē aʻe kona. ʻO kēia mau mea, ʻoi aku ka maikaʻi ʻole o ka hoʻolaha wela a ʻo ka ʻili kiʻekiʻe e hoʻolilo iā ia i mea pane hou aku i nā kinoea i loko o ke keʻena a no laila e hāʻawi i nā ʻāpana me ka wikiwiki, ʻoiai ʻo kēia kūkulu lohi he kālepa i nā hihia he nui.

Hoʻopau ka susceptor i uhi ʻia me SiC i kekahi o kēia mau pilikia me ka hoʻohui ʻana o ka uhi pale paʻa.

Hiki i kekahi ke nānā aku i nā fabs LED e hana ana i ka nui o ka leo ma o nā pōʻaiapuni hana kahi e pono ai nā hoʻololi lōʻihi. ʻIke kekahi mau fabs i ka wā lōʻihi me ka graphite ʻōlohelohe e hana ʻia kēlā drift mālie o ka wafer uniformity ma hope o kekahi mau pōʻaiapuni thermal. Me he mea lā e ulu mālie ana ka ʻili o ka susceptor a no laila e lilo ka hoʻolaha wela i mea paʻa ʻole.

ʻO ka hoʻohana ʻana i nā mea hoʻopili i uhi ʻia me SiC no nā holo lōʻihi, ʻo ia hoʻi, ʻaʻole pinepine kēia ʻano like ʻole o ka wafer, ʻo ia hoʻi Me ka hale hana hoʻokahi, ʻo ka hoʻololi ʻana i ka SiC i uhi ʻia me SiC ʻo ia hoʻi, ʻaʻole pono e hoʻoponopono pinepine ʻia kā lākou laina i ka wā e hoʻololi ai mai nā ʻāpana like ʻole.

Hiki ke noiʻi ʻia nā waiwai wela. Me he mea lā e hoʻomohala ana ka Bare graphite i kahi kekelē o ka paʻa ʻole o ka mahana ma luna o kona ʻili. Ua manaʻo ʻia kēia he kumu o ka loli lohi o ka ʻili a he kumu hoʻi o kekahi ʻāpana i ʻike ʻole ʻia o ka uhi.

Hoʻopaʻa ka uhi SiC i ka ʻili, hoʻōki ia i nā loli e hana ʻia ana, ʻo ia hoʻi ke mau nei ka hoʻoili wela. ʻO ka hopena o kēia ma nā LED, inā pili ka papa i ulu ʻia i nā loli o ka mahana, e loli pū ka nalu/ʻōlinolino.

Aia kekahi mau hemahema maoli i ka hoʻohana ʻana i nā mea hoʻopalupalu i uhi ʻia me SiC; ko lākou kumukūʻai a ʻoiai ʻaʻohe o lākou mau ʻāpana, e hoʻopuka lākou i nā ʻāpana inā māwae lākou, a no laila hiki ke hoʻolauna i nā ʻāpana ma mua o ka hōʻemi ʻana iā lākou.

No laila, pono e hoʻokō pono i nā kaʻina hana nānā a mālama pono i kā lākou mau uhi ʻana i mea e pale ai i ka hōʻino ʻana mai ka hana ʻana ma mua o ka hiki ʻana mai o ka hemahema, ʻoiai, me ka hoʻohana ʻana i nā uhi pale i ke komo ʻana, pono lākou e mau no kekahi manawa, a ma ia manawa e pani ʻia ai.

Nā Hoʻolālā Mālama a me ka Hoʻomaʻemaʻe no nā ʻĀpana Veeco Spare Ola Loa

ʻO ka mālama ʻana i nā ʻāpana Veeco i ke kūlana maikaʻi e hoʻonui i ke ola o nā ʻāpana a mālama i ke kūpaʻa o ke kaʻina hana epitaxy. Hōʻiliʻili nā koena i ka hala ʻana o ka manawa ma luna o nā susceptors, liners a me nā apo i uhi ʻia. ʻO ka hōʻiliʻili ʻana o nā koena, ʻoiai ma nā papa lahilahi e like me nā mea hiki ke ʻike ʻia, hiki ke hoʻopilikia i ka pane wela ma luna o ka ʻili a hoʻoulu i ke kūlike ʻole o ke kaʻina hana.

Ua hōʻike kekahi ʻenekinia i ka ʻike ʻana i ka ʻōlinolino LED like ʻole a i ʻole nā ​​hopena wafer maikaʻi ʻole a laila noiʻi i ke koena ma ke ʻano he kumu o ka pilikia. Pono e hoʻomohala ʻia nā kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe like ʻole no nā mea like ʻole. ʻAʻole pono e hōʻike ʻia nā ʻāpana graphite maʻemaʻe kiʻekiʻe i nā kemika abrasive a i ʻole nā ​​​​ʻano holoi abrasive no ka mea hiki i kēia mau ʻano ke komo i ka ʻāpana.

Hoʻohana wale kekahi mau laina hana i ka hoʻomaʻemaʻe plasma manawa a i ʻole nā ​​​​ʻano kemika ʻoi aku ka mālama ʻana e wehe i ka hōʻiliʻili ʻana. He mea nui hoʻi e mālama pono i nā ʻāpana i uhi ʻia me SiC. ʻOiai he paʻa kēia ʻāpana, ʻo nā nicks a me nā scratches i hana ʻia i ka wā o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana e hana i nā māwae liʻiliʻi i hiki ke lilo i kumu o nā ʻāpana. Ua hoʻoponopono kekahi laina hana i kēia ma ka hoʻohana ʻana i nā mea hoʻomaʻemaʻe palupalu a me ka hoʻomohala ʻana i kahi ʻano lawelawe maikaʻi no kēia mau ʻāpana.

Hana ʻia ka hoʻokele ola ʻāpana maʻamau ma hope o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana. ʻO ka nānā wikiwiki ʻana no ka hoʻololi ʻana o ke kala, nā māwae liʻiliʻi a i ʻole ka ʻōlinolino i hoʻokaʻawale like ʻole ʻia e hiki ke hopu i nā hōʻike mua o ka hāʻule ʻana o ka ʻāpana. Hoʻohana ka nui o nā fabs i ka nānā ʻana i ke ola o ka ʻāpana ma kahi o ka hilinaʻi ʻana i ka hoʻololi ʻāpana e pili ana i ka hāʻule ʻana. E hoʻololi ʻia ka ʻāpana ma mua o ka ʻike ʻia ʻana o ka pilikia.

Hoʻowahāwahā pinepine ʻia ka mālama ʻana. ʻOiai he maʻemaʻe, ua haumia maʻalahi nā ʻāpana i ka lepo a me ka makū ke mālama ʻia ma kahi ākea a pono e hoʻopaʻa ʻia i loko o nā pahu maʻemaʻe ma mua o ka hoʻohana hou ʻana.

I ka hala ʻana o ka manawa, ua maopopo loa ʻo ke kī i ke ola lōʻihi o ka hapa, ʻo ia nā mea liʻiliʻi, i hana ʻia me ka hilinaʻi i kēlā me kēia lā. ʻO ke ʻano mālie o ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe, ka lawelawe akahele, a me ka nānā mau ʻana i ke ola hapa hiki ke hoʻololi nui i ke kūpaʻa o ke kaʻina hana epitaxy.