Home > papa hoike
ʻO Silicon dioxide, i kapa ʻia ʻo SiO₂, he mea nui i hoʻohana ʻia i ka hana ʻana i nā mea liʻiliʻi. Ma Semixlab, hana mākou i ka wafer silicon me nā hiʻohiʻona kikoʻī, me ka hoʻohana ʻana i kahi ʻenehana i kapa ʻia sio2 maloo etching g. No laila pehea e hana ai kēia ʻano hana?
ʻO ka etching maloʻo SiO₂ e pili ana i kahi kaʻina hana o ke kalai ʻana i ke silikoni dioxide ma ka wafer silika me ka hoʻohana ʻana i nā kemika a me ka plasma. Hoʻohui pū ʻia ka ikehu i ka plasma, he ʻano kinoea. Ma o ka plasma, hiki iā mākou ke wehe i ka papa SiO₂ me ka ʻole o ka hōʻeha ʻana i kona mau papa lalo.
Inā pono mākou sio2 maloo etching i mea e ʻoi aku ka maikaʻi, pono mākou e hoʻonohonoho i kekahi mau mea e like me ke kahe o ke kinoea, ke kaomi, a me ka mana ʻokoʻa. Ma ka hoʻoponopono ʻana i kēia mau hoʻonohonoho, hiki iā mākou ke hoʻokele i ka wikiwiki e hiki ai iā mākou ke etch a pehea e hiki ai iā mākou ke kiʻi wale i ka Semixlab SiO₂. He mea koʻikoʻi kēia, no ka mea, makemake mākou e kālai iā SiO₂ me ka hoʻopā ʻole ʻana i nā mea ʻē aʻe ma ka wafer.
Aia nā ʻano hana like ʻole e hoʻokō ai i ka etching maloʻo Semixlab SiO₂. ʻO kekahi o nā ala maʻamau ʻo ka reactive ion etching (RIE), e hoʻohana ana i kahi hui o nā kinoea no ka papa SiO₂. kiʻi plasma . Ma kekahi ʻano hana ʻē aʻe, hoʻohana ʻia kahi kaʻina hana hohonu reactive ion etching (DRIE) no ka hāʻawi ʻana i nā etches hohonu i ka papa SiO₂ ma kekahi mau ʻanuʻu.
ʻO ka hoʻopiʻi ʻana i ka etching maloʻo SiO₂ e pale i ka wehe ʻana i nā mea ʻē aʻe ma waho o Semixlab pulu pulu SiO₂. No ka lanakila ʻana i kēia, hiki ke hoʻohana ʻia kahi mask no ka pale ʻana i nā mea ʻē aʻe mai ka etching. ʻO kekahi paʻakikī ʻē aʻe ʻo ka hōʻoia ʻana i ke ʻano like ʻole o ka etching a puni ka wafer. Hiki iā mākou ke hoʻoponopono i kēia pilikia ma ka hoʻololi ʻana i kā mākou mau mea hana a me nā hoʻonohonoho.
Hana ʻia kēia etching maloʻo Semixlab SiO 2 e hana i nā ʻāpana koʻikoʻi e like me nā auwaha a me nā pilina ma nā substrate silika. Pono kēia mau ʻāpana no ka hana ʻana i nā mea e like me nā kaapuni i hoʻohui ʻia a me nā sensor. Hiki iā mākou ke hana i nā ʻano paʻakikī me ka pololei loa sio2 maloo etching
EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
