ʻO ke kui pine keramika SiC

Hāʻawi ʻo Semixlab i nā SiC Ceramic Pin Chucks hana kiʻekiʻe i hoʻolālā ʻia no ka lawelawe ʻana i nā wafer semiconductor, ka nānā ʻana, ka lithography, ka metrology, a me nā noi hana thermal.

Hana ʻia mai ka seramika silicon carbide maʻemaʻe kiʻekiʻe, hoʻohui kā mākou SiC Pin Chuck i ke kūpaʻa mechanical maikaʻi loa, ka hana thermal kiʻekiʻe, nā ʻano haumia haʻahaʻa loa, a me ka hiki ke hoʻonoho wafer pololei.

Me ka hoʻomohala mau ʻana o ka hana semiconductor holomua i nā nui wafer nui aʻe, ka mana hana paʻa, a me nā koi hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe, ua lilo ʻo SiC Ceramic Pin Chuck i mea koʻikoʻi no nā ʻōnaehana kākoʻo wafer hilinaʻi.

Nā Hiʻohiʻona Huahana o SiC Ceramic Pin Chuck

Paʻa Mekanika Kiʻekiʻe a me ke Kākoʻo Wafer Precision

Hana ʻia ka Semixlab SiC Ceramic Pin Chuck mai ka seramika silicon carbide maʻemaʻe kiʻekiʻe, e hāʻawi ana i ka paʻakikī maikaʻi loa, ke kūpaʻa i ka ʻaʻahu, a me ke kūpaʻa o ka dimensional. ʻO kona ʻano seramika paʻa e hōʻoiaʻiʻo ana i ke kākoʻo wafer hilinaʻi i ka wā o nā pōʻaiapuni hoʻouka pinepine ʻana me ka mālama ʻana i ka pololei o ke kūlana kiʻekiʻe.

Hana wela maikaʻi

Loaʻa i ka Silicon carbide ke kiʻekiʻe o ka conductivity thermal, ka hoʻonui wela haʻahaʻa, a me ke kūpaʻa haʻalulu thermal koʻikoʻi. Hiki i kēia mau waiwai ke mālama i ka hana paʻa i ka wā o nā kaʻina hana wela kiʻekiʻe, me ka mālama ʻana i ka thermal a me ka annealing.

Nā ʻano o ke kūpaʻa kemika a me ka haumia haʻahaʻa

Hoʻokomo pinepine nā kaʻina hana semiconductor i nā kinoea ʻino, nā kaiapuni plasma, a me nā koi maʻemaʻe koʻikoʻi. Me ka hoʻopaʻa Si-C ikaika, hāʻawi nā keramika SiC i ke kūpaʻa kemika maikaʻi loa, ka lōʻihi o ka plasma, a me ka hana ʻāpana haʻahaʻa.

Hoʻolālā Kūkulu Pin Precision

ʻO ke ʻano pin-array i hoʻonohonoho pono ʻia e hōʻemi i ka wahi pili wafer me ka hāʻawi ʻana i ke kākoʻo mechanical paʻa. Hoʻemi kēia hoʻolālā i ka haumia o ke kua, pale i ka hōʻino ʻana o ka wafer, a hoʻomaikaʻi i ka kaohi ʻana i ka palahalaha o ka wafer.

Kākoʻo ʻo Semixlab i nā hoʻolālā i hana ʻia, me ka hoʻonohonoho ʻana o ka pine, nā ana, a me nā kikoʻī o ka ʻili, e hoʻokō i nā koi lako semiconductor like ʻole.

E kāhea iā Semixlab no nā hoʻonā i hoʻopilikino ʻia

Ke ʻimi nei i nā hoʻonā SiC Ceramic Pin Chuck hana kiʻekiʻe no nā ʻōnaehana lawelawe wafer semiconductor? E kāhea mai iā mākou i kēia lā e kūkākūkā i kāu mau koi noi.

Nā kikoʻī koʻikoʻi o ka SiC Ceramic Pin Chuck

Nā noi o SiC Ceramic Pin Chuck i nā kaʻina hana Semiconductor

Nānā Wafer a me Metrology

Hoʻohana nui ʻia ka SiC Ceramic Pin Chuck i nā ʻōnaehana nānā wafer a me ka metrology e koi ana i ka pololei o ke kūlana kiʻekiʻe a me ke kūpaʻa o ka ʻili. Kōkua ka hoʻolālā pine haʻahaʻa-hoʻopili i ka hōʻemi ʻana i ka haumia o ka ʻaoʻao hope me ka mālama ʻana i ka palahalaha wafer maikaʻi loa a me ka hana hou ʻana.

Nā ʻōnaehana hoʻonohonoho Lithography a me Wafer

I nā kaʻina hana lithography holomua, pili pololei ka paʻa o ka wafer i ka pololei o ka overlay. Hāʻawi ʻo SiC Pin Chuck i ke kākoʻo wafer pololei me ka paʻa wela a me ka mechanical maikaʻi loa, e kōkua ana i ka hoʻomaikaʻi ʻana i ka pololei o ke alignment a me ka hilinaʻi o ke kaʻina hana.

Ka Hana ʻana i ka Wera a me ka Annealing

Ma muli o kona hiki ke hoʻoili wela maikaʻi loa a me ke kūpaʻa ʻana i ka haʻalulu wela, kūpono ʻo SiC Ceramic Pin Chuck no ka hana wela wikiwiki (RTP), annealing, a me ka mālama ʻana i ka wafer wela kiʻekiʻe.

ʻO kāna hana wela paʻa e kōkua i ka hoʻokō ʻana i ka hoʻomehana like, hoʻemi i ke kaumaha wafer, a hoʻomaikaʻi i ke kūlike o ke kaʻina hana.

Nā Lako Hana CVD, PVD a me Plasma

Hoʻohana ʻia ʻo SiC Ceramic Pin Chuck i nā ʻōnaehana hoʻopaʻa ʻana a me ka hana plasma, kahi e pono ai nā ʻāpana e kū i nā mahana kiʻekiʻe, nā kinoea reactive, a me ka hōʻike plasma.

Q1: He aha ka SiC Ceramic Pin Chuck?

ʻO ka SiC Ceramic Pin Chuck kahi ʻāpana kākoʻo wafer kikoʻī i hana ʻia mai ka seramika silicon carbide kiʻekiʻe. Hoʻohana ia i kahi ʻano pine e hōʻemi i ka pili wafer me ka mālama ʻana i ke kūlana paʻa i ka wā o nā kaʻina hana semiconductor.

Q2: No ke aha e koho ai i ka seramika SiC ma kahi o ka alumini a i ʻole ka quartz?

Hāʻawi ʻo SiC i ka maikaʻi:

Ke kaohi maʻamau

Hoʻoikaika kūlohelohe

Ka ikaika mīkini

Ke kū'ē ʻana o ka plasma

e lilo ana ia i mea kūpono no nā wahi hana semiconductor holomua.

Q3: Hiki iā Semixlab ke hoʻopilikino i nā ana o SiC Pin Chuck?

ʻAe. Hāʻawi ʻo Semixlab i ka hoʻopilikino ʻana o OEM/ODM me ka nui, ke ʻano o ka pine, ka hoʻopau ʻana o ka ʻili, a me nā kikoʻī o nā mea.

Q4: He aha nā nui wafer i kākoʻo ʻia?

Hiki ke hoʻopilikino ʻia nā SiC Ceramic Pin Chucks no:

100mm

150mm

200mm

300mm wafers

e like me nā koi lako o ka mea kūʻai aku.