Nā Mea Hana Hui Kalapona-Kalapona

Ua hana ʻia nā mea Carbon-Carbon Composite (C/C) a Semixlab no nā koi wela koʻikoʻi o ka hana semiconductor hanauna e hiki mai ana, e hāʻawi ana i ke kūpaʻa mechanical kūikawā, ka pololei o ka dimensional no ka manawa lōʻihi, a me ke ahonui wela i nā wahi mahana kiʻekiʻe a me ka maʻemaʻe kiʻekiʻe.

I loko o nā reactors ulu epitaxial SiC a me GaN, lawelawe nā composites C/C ma ke ʻano he mau ʻōnaehana hoʻokele ukana koʻikoʻi a me ka hoʻomehana wela i nā papa wela, nā mōlina lawe, nā mea kākoʻo, a me nā ʻākoakoa insulation. Hāʻawi kā lākou microstructure kū hoʻokahi i ka ikaika kikoʻī kiʻekiʻe, ka hoʻololi wela haʻahaʻa loa, a me ke kūpaʻa luhi kiʻekiʻe ma lalo o nā pōʻaiapuni thermal 1500-1800 °C i hana hou ʻia, e hōʻoiaʻiʻo ana i ke kūlana wafer paʻa a me nā kahua thermal kūlike ma o nā holo epitaxy lōʻihi.

Ke hana ʻia me nā ʻenehana hoʻomaʻemaʻe a me ka densification ponoʻī, loaʻa i nā mea C/C a Semixlab nā pae haumia haʻahaʻa loa e kūpono no nā wahi SiC a me GaN MOCVD, CVD, a me PVT, e hōʻemi ana i nā pilikia haumia a kākoʻo i ka ulu like ʻana o ke kristal ma ka pae wafer a me ka boule. ʻO ke kūpaʻa haʻalulu wela kiʻekiʻe o C/C e hoʻopau pū i nā ʻano hemahema micro-fracture maʻamau i nā keramika a i ʻole ka graphite maʻamau i ka wā e hoʻokau ʻia ai i nā pōʻaiapuni ramp-up a me nā hoʻoluʻu wikiwiki e pili ana i ka hana epitaxial.

I ka hoʻāla ʻana o ka SiC—hoʻokō pinepine ʻia ma nā mahana i ʻoi aku ma mua o 1700 °C—hana nā Carbon-Carbon Composite Materials ma ke ʻano he mau mea kūkulu paʻa, nā ʻākoakoa mea hoʻomehana, a me nā papa insulation thermal i loko o nā keʻena anneal ikehu kiʻekiʻe. ʻO ko lākou hiki ke mālama i ka ikaika mechanical ma luna o 2000 °C, i hui pū ʻia me ka outgassing haʻahaʻa a me ka inertness kemika, e hōʻoiaʻiʻo ana i kahi kaiapuni thermal maʻemaʻe a kāohi ʻia e pono ai no ka hoʻāla ʻana o ka dopant i nā SiC MOSFET holomua, diodes, a me nā modula mana.

ʻAʻole e like me ka graphite maʻamau, mālama nā mea C/C i ka pono o ka dimensional ma luna o nā ola wela kiʻekiʻe, e hiki ai ke hoʻopili pololei a hana hou ʻia nā ʻaoʻao hoʻāla dopant, e hōʻemi ana i ka drift i ka annealing uniformity, a me ka hoʻomaikaʻi ʻana i ka hana uila holoʻokoʻa a me ka hua.

Hoʻohui ka ʻano hana ʻenekinia o Semixlab i nā hoʻolālā fiber kikoʻī no ka noi, nā densities matrix i hana ʻia, a me nā uhi ʻili kalapona SiC kiʻekiʻe a i ʻole pyrolytic, e ʻae ana i nā ʻāpana C/C e hoʻokō i nā koi koʻikoʻi o nā lako epitaxy a me annealing. ʻO kēia mau holomua ʻenehana ka hopena i nā ola lōʻihi, nā pōʻaiapuni mālama i hoʻemi ʻia, a me ka hoʻomaikaʻi nui ʻana i ka like ʻana o ka thermal.