Nā ʻElemu Pumehana Graphite

ʻO nā ʻElemene Hoʻomehana Graphite he mau ʻāpana wela koʻikoʻi i hoʻohana nui ʻia i ka hana semiconductor holomua, kahi e pono ai ka kaohi mahana pololei, ke kūpaʻa wela kiʻekiʻe, a me nā wahi hana maʻemaʻe loa. Ma Semixlab, hoʻolālā a hana mākou i nā ʻāpana hoʻomehana graphite maʻemaʻe kiʻekiʻe i hana kūikawā ʻia no nā kaʻina hana semiconductor koi e like me ka silicon, SiC, a me GaN epitaxy, a me ka hoʻolaha wela kiʻekiʻe a me ka oxidation. Kākoʻo ʻia e ka laulima pili me nā mea hana lako a me nā fabs, ua hoʻomohala ʻia nā hoʻonā hoʻomehana graphite a Semixlab e kākoʻo i ka hana paʻa, hana hou ʻia, a me ka hua kiʻekiʻe.

I loko o nā kaʻina hana epitaxy semiconductor, me Si, SiC, a me GaN, he kuleana koʻikoʻi ko nā mea hoʻomehana graphite i ka hoʻokumu ʻana a me ka mālama ʻana i nā kūlana wela e pono ai no ka ulu ʻana o ke kristal kiʻekiʻe. Koi ka waiho ʻana o Epitaxial i ka like ʻana o ka mahana a me ke kūpaʻa ma waena o ka ʻili wafer, ʻoiai hiki i nā ʻokoʻa wela liʻiliʻi ke hoʻopilikia pololei i ka mānoanoa o ka papa, ka hoʻolaha ʻana o ka dopant, ke ʻano o ka ʻili, a me ka nui o nā hemahema. Hoʻohana pinepine ʻia nā mea hoʻomehana graphite ma ke ʻano he kino hoʻomehana mua a i hoʻohui ʻia i loko o nā susceptors a me nā ʻaha hoʻomehana i loko o nā reactors epitaxial, e hana pono ana ma nā mahana ma mua o 1000°C no ka silicon epitaxy a hiki i 1600°C a ʻoi aku paha ma nā noi SiC. ʻO kā lākou conductivity thermal kiʻekiʻe a me ke kūpaʻa maikaʻi loa i ka haʻalulu thermal e hiki ai ke hoʻokumu ʻia nā kahua mahana paʻa a wānana ʻia, he mea koʻikoʻi no ka hana hou ʻana o ke kaʻina hana a me ka kaohi hua i ka hana nui.

No ka hana ʻana o ka semiconductor bandgap ākea, ʻo SiC a me GaN hoʻi, ua ʻike nui ʻia nā mea hoʻomehana graphite he ʻenehana hiki. Pono kēia mau mea i nā mahana hana kiʻekiʻe a me nā pōʻaiapuni thermal lōʻihi i hoʻohālikelike ʻia me ka silicon maʻamau, e kau ana i nā koi koʻikoʻi ma luna o nā mea hoʻomehana. Hana ʻia nā mea hoʻomehana graphite maʻemaʻe kiʻekiʻe o Semixlab mai nā mea maka i koho pono ʻia a me nā microstructures i hoʻomaikaʻi ʻia e hōʻoia i nā pae haumia haʻahaʻa, ka liʻiliʻi o ka outgassing, a me ke ola lawelawe lōʻihi ma lalo o ka hydrogen, vacuum, a i ʻole nā ​​​​ea kinoea inert. ʻO nā uhi holomua koho, e like me SiC a i ʻole pyrolytic carbon, e hoʻonui hou i ke kūpaʻa kemika, hoʻemi i ka hana ʻāpana, a hoʻolōʻihi i ke ola hana, e kākoʻo ana i nā kūlana hoʻomaʻemaʻe koʻikoʻi o ka hana mana a me ka hana RF.

I nā kaʻina hana hoʻolaha a me ka oxidation, lawelawe nā mea hoʻomehana graphite ma ke ʻano he kumu wela paʻa a hiki ke hoʻokele ʻia i loko o nā umu wela kiʻekiʻe i hoʻohana ʻia no ka hoʻolaha ʻana o ka dopant, ka oxidation thermal, a me ka annealing. Pono kēia mau kaʻina hana i ka mana pololei ma luna o nā wikiwiki ramp mahana, ke ʻano like, a me ke kūpaʻa lōʻihi e hoʻokō ai i nā hohonu junction pololei, nā mānoanoa oxide, a me nā ʻano uila. Ke hoʻohālikelike ʻia me nā mea hoʻomehana metala, hāʻawi ka graphite i ka hiki ke kiʻekiʻe o ka mahana a me ka hoʻemi ʻana i ka pilikia o ka deformation a i ʻole ke kolo ʻana i ka wā o ka hana lōʻihi, e kōkua ana i ka hoʻomaikaʻi ʻana i ka manawa hana a me ka hoʻemi ʻana i ke kumukūʻai o ka loaʻa ʻana o ka mea hana.

Mai kahi hiʻohiʻona hoʻolālā lako, hāʻawi nā mea hoʻomehana graphite i kahi kiʻekiʻe o ka maʻalahi o ka hoʻolālā. ʻO kā lākou mīkini e ʻae i nā geometries paʻakikī, nā hoʻonohonoho hoʻomehana multi-zone, a me nā ʻano kū'ē i hoʻopilikino ʻia e hoʻokō ʻia, e hiki ai ke hoʻonohonoho pono i ka thermal i hana ʻia i nā ʻano reactor a umu paha. Hana pū ʻo Semixlab me nā mea kūʻai aku e hoʻomaikaʻi i ka hoʻolālā mea hoʻomehana e pili ana i nā koi hana, ke ʻano o ke keʻena, a me nā simulations thermal, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka hoʻohui maikaʻi loa i nā mea hana semiconductor kahiko a me nā hanauna hou.

Hana ʻia ka mea hoʻomehana graphite a Semixlab ma lalo o nā kaohi kaʻina hana koʻikoʻi a ua nānā pono ʻia e hōʻoia i ka maʻemaʻe, ka nui, ke kū'ē uila, a me ka pololei o ka dimensional. ʻO kēia kūpaʻa i ka pono o nā mea a me ke kūlike o ka hana ʻana e kōkua i nā mea hana semiconductor e hōʻemi i ka loli o ke kaʻina hana a mālama i ka hana hana paʻa i ke ola holoʻokoʻa o ka ʻāpana. Me nā hoʻolālā hiki ke hoʻopilikino ʻia a me nā uhi holomua koho, kākoʻo nā hoʻonā hoʻomehana graphite a Semixlab i ka hana hana mau, ka hoʻomaikaʻi ʻana i ka hua, a me ka hoʻemi ʻana i ke kumukūʻai holoʻokoʻa o ka loaʻa ʻana no nā mea hana lako semiconductor a me nā fabs. Ke kakali nei mākou i ka loaʻa ʻana o kāu mau nīnau hou aku.