ʻO ka huluhulu Graphite palupalu

Ma ke ʻano he mea hana alakaʻi o nā Soft Felt Insulations ma Kina, ʻo ka Semixlab's Soft Graphite Felt kekahi o nā mea kalapona wela kiʻekiʻe i hana ʻia no ka hana semiconductor. Hana ʻia mai ka fiber kalapona maʻemaʻe kiʻekiʻe a hoʻomaʻemaʻe ʻia ma o ka graphitization i kāohi ʻia, hāʻawi kā mākou Graphite Soft Felt i ka conductivity thermal haʻahaʻa a me ka hoʻokō mechanical e pono ai i nā kaʻina hana thermal koʻikoʻi loa, me ka epitaxy, diffusion, annealing, a me ka implantation ion. ʻO ka Semixlab soft insulation kahi mea pono ʻole i ka hana thermal semiconductor. Ke kakali nei mākou i kāu nīnau.

I nā kaʻina hana epitaxy e like me MOCVD a me LPE, hoʻopili pololei ka hoʻokele wela pololei i ke ʻano ulu kristal, ka pololei o ka doping, a me ke ʻano o ka ʻili. Hana ʻo Semixlab Soft Graphite Felt ma ke ʻano he papa insulation thermal kiʻekiʻe i loko o ka ʻāpana wela a me nā ʻākoakoa graphite koʻikoʻi e hoʻopuni ana, e kōkua ana i ka hoʻēmi ʻana i ka nalowale wela parasitic a hoʻopaʻa i ka hoʻolaha mahana kokoke i ka susceptor. Ma ka mālama ʻana i kahi kahua thermal like a me ka buffering thermomechanical stress ma waena o nā ʻāpana graphite a me quartz, hoʻemi ka felt i ke kakaka wafer, hoʻēmi i nā microcracks i loko o nā lako graphite, a kākoʻo i ka hoʻokumu ʻana o ka papa epitaxial kūlike. Hoʻopili pū kona ʻano palupalu a hiki ke hoʻopili ʻia i nā mismatches hoʻonui thermal, e hoʻolōʻihi ana i ke ola lawelawe o nā ʻākoakoa ʻāpana wela me ka hoʻohaʻahaʻa ʻana i ka hoʻohana ikehu holoʻokoʻa.

I loko o nā umu hoʻolaha wela kiʻekiʻe, hiki i ka Soft Graphite Felt ke hoʻohana i nā wahi wela paʻa a hana hou ʻia e pono ai no ka hoʻoulu ʻana o ka dopant a me ka hoʻokumu ʻana i ka hui. ʻO kona conductivity wela haʻahaʻa loa a me ka ʻaoʻao outgassing haʻahaʻa e hana i kahi pale insulating maʻemaʻe a kāohi ʻia e pale ana i nā paipu quartz a me nā modula mea hoʻomehana mai nā loli wela wikiwiki. Hoʻonui kēia i ke ʻano like o ka mahana ma o nā pōʻaiapuni hoʻolaha lōʻihi a hōʻemi i ka pilikia haʻalulu wela, e kōkua ana i ka mālama ʻana i ka hilinaʻi o ka umu a hoʻomaikaʻi i ke kūlike o ka komo ʻana o ka dopant ma nā ʻāpana wafer piha. ʻO ka hiki o ka mea ke kū i nā lewa oxidizing a me inert i nā mahana kiʻekiʻe e hōʻoia i ka hoʻohālikelike ikaika me nā ʻano kemika diffusion ākea.

He kuleana koʻikoʻi ko ka Semixlab Soft Graphite Felt i nā kaʻina hana annealing semiconductor, mai ka annealing umu maʻamau a hiki i ka annealing thermal wikiwiki (RTA) a me nā ʻanuʻu carbonization wela kiʻekiʻe i hoʻohana ʻia i nā ʻenehana wafer SiC a me GaN. Mālama kona microstructure carbon-carbon i ka pono o ke kūkulu ʻana ma mua o 2000°C ma lalo o nā kūlana inert a noho paʻa i nā kemika i loko o ka hydrogen, nitrogen, a me nā wahi vacuum. ʻO kēia ka mea e kūpono ai ka felt no ka pale ʻana i nā mea o loko o ka umu, mālama i ka like ʻana o ka thermal, a me ka pale ʻana i ka haumia i ka wā o ka annealing stress-relief, nā ʻanuʻu hoʻāla, a me nā pōʻaiapuni hoʻoponopono hemahema. ʻO ka palupalu o ka mea e hiki ai iā ia ke hana ma ke ʻano he insulation a me kahi buffer mechanical, e kōkua ana i ka hoʻopaʻa ʻana i nā mea paʻa graphite ma o ka hoʻopōʻaiapuni thermal hou a me ka hōʻoia ʻana i ke kūlike lōʻihi o ka profile thermal annealing.

ʻO nā ʻōnaehana hoʻokomo ion—ʻoi aku hoʻi nā mea e pono ai ka hoʻōla wela ma hope o ka hoʻokomo ʻana—e pōmaikaʻi nui mai ka Soft Graphite Felt ma muli o kona hanauna ʻāpana haʻahaʻa loa, ka maʻemaʻe kemika, a me ke kūpaʻa ʻana i ka haʻalulu wela. Mālama nā ʻano insulating a me nā cushioning o ka felt i nā ʻāpana graphite kūloko i ka wā o nā loli wela koʻikoʻi e pili ana me ka hoʻokomo ʻana i ka ikehu kiʻekiʻe a me nā kaʻina annealing ma hope. Mālama kona inertness kemika i nā wafers a me nā lako mai ka haumia metala.

Ma waena o kēia mau kaʻina hana semiconductor ʻehā, hāʻawi ka Soft Graphite Felt a Semixlab i kahi hopena piha i nā pilikia thermal, mechanical, a me ka maʻemaʻe i loko o ka hana wafer hou. ʻO kona hiki ke hoʻopaʻa i ka hoʻolaha wela, hoʻemi i ka pilikia haumia, a pale i ka umu a me nā lako epitaxy e lilo ia i mea pono no ka kaohi ʻana i ke kaʻina hana kiʻekiʻe. Hoʻolālā ʻia me nā kūlana hoʻomaʻemaʻe koʻikoʻi a loaʻa i nā densities hiki ke hoʻopilikino ʻia, nā mānoanoa, a me nā ana, hoʻohui pono kā mākou Soft Graphite Felt i nā reactors MOCVD, nā umu diffusion, nā modules annealing, nā lako hoʻokomo ion, a me nā ʻōnaehana wela kiʻekiʻe ʻē aʻe.