8 ʻīniha Graphite Disk no SiC Epitaxy

Ua hoʻolālā ʻia ka 8-'īniha Graphite Disk no SiC Epitaxy e hāʻawi i ke kākoʻo paʻa a hana hou ʻia no ka ulu ʻana o ka silicon carbide epitaxial ma nā wafers anawaena nui. I ka hoʻololi ʻana o ka silicon carbide epitaxy mai ka hana ʻana o 6-'īniha a i 8-'īniha, lilo ka like ʻana o ke kahua thermal a me ke kūpaʻa o ke kākoʻo wafer i mea koʻikoʻi. He ʻāpana koʻikoʻi kēia disk graphite o ka ʻōnaehana hoʻokele thermal reactor, e hāʻawi ana i kahi ʻano thermal i kāohi ʻia a like e hoʻopilikia pololei ana i ka like ʻana o ka mānoanoa o ka papa epitaxial, ka hoʻolaha dopant, a me ka hana hou ʻana o ke kaʻina hana holoʻokoʻa.

Hana ʻia mai ka graphite isostatic maʻemaʻe kiʻekiʻe, ua koho ʻia kēia mea no kona conductivity thermal kūikawā, nā waiwai kino isotropic, a me ka haʻahaʻa o ka haumia. Hōʻoia ka ʻano isostatic i ka density kūlike a me ka pane thermal ma waena o ka laulā 8-'īniha holoʻokoʻa, e hoʻemi ana i nā gradients mahana radial a me ka deformation mechanical i ka wā o ka hana wela kiʻekiʻe. I nā kaʻina hana SiC CVD a me MOCVD maʻamau, kahi e ʻoi aku ai ka mahana ulu ma mua o 1600°C a he mea maʻamau ka pōʻaiapuni thermal wikiwiki, mālama ka disc graphite i ka palahalaha a me ke kūpaʻa dimensional. Hiki i kēia ke hoʻonohonoho wafer hilinaʻi a me ka hoʻoili wela like ma o ka pōʻaiapuni epitaxial.

Mai kahi kuanaʻike hana, he kuleana koʻikoʻi ko ka diski graphite 8-'īniha i ka wehewehe ʻana i nā kūlana palena wela ma ka interface wafer-substrate. Ma ka hāʻawi ʻana i ka holo wela like a wānana ʻia, kōkua ia i ka hoʻopau ʻana i nā hopena ʻōwili lihi, hoʻemi i nā hemahema i hoʻoulu ʻia e ke kaumaha, a hiki ke hoʻomalu pono i ka mānoanoa o ka papa epitaxial ma ka ʻili wafer holoʻokoʻa. ʻO ka maʻemaʻe kiʻekiʻe o ka substrate graphite e hoʻemi hou aku i nā pilikia o ka haumia metala a me ka hoʻokomo ʻana i ka haumia hope, he mea koʻikoʻi ia no ka epitaxy SiC papa mana e koi ana i ka haʻahaʻa o ka hemahema a me ke kūlike uila kiʻekiʻe.

Ma ke ʻano he mea hana Kina alakaʻi a me ka mea hoʻolako i nā ʻāpana epitaxial, ua hana kūikawā ʻia ka Semixlab's 8-inch Graphite Disk no SiC Epitaxy no nā wahi hana SiC epitaxial koi. Ma ka hoʻohui ʻana i ka graphite isostatic maʻemaʻe kiʻekiʻe me ka mīkini kikoʻī a me ka kaohi maikaʻi koʻikoʻi, hāʻawi kēia huahana i ke kūpaʻa, ka maʻemaʻe, a me ka hana hou ʻana e pono ai no ka 8-inch SiC epitaxy nui. Hoʻonui kēia i nā helu hua, hoʻonui i ka manawa hana o nā lako, a hoʻemi i ka uku holoʻokoʻa o ka loaʻa ʻana. I ka manawa like, ke kūpaʻa nei ʻo Semixlab i ka hāʻawi ʻana i nā lawelawe kūkākūkā loea alakaʻi a me nā hoʻonā huahana i hana ʻia. Ke kakali nei mākou i ka lilo ʻana i hoa lōʻihi ma Kina.