Papa Hoʻolaha Kinoea 0020-31624

I ka hana ʻana o ka semiconductor holomua, hilinaʻi nui ke ʻano like o ke kaʻina hana a me ke kūpaʻa o ka plasma i ka pololei o ka lawe ʻana i ke kinoea i loko o ke keʻena hana. ʻO ka Gas Distribution Plate (GDP), i ʻike ʻia hoʻi he showerhead plate, ʻo ia kekahi o nā mea koʻikoʻi loa no ka hoʻokō ʻana i ka hana hoʻopaʻa a me ka hana etching i nā lako semiconductor plasma. Hāʻawi ʻo Semixlab i nā mea hoʻololi kiʻekiʻe a me nā mea hoʻolaha kinoea semiconductor i hana ʻia no nā wahi hana wafer koi.

Hua'ōlelo Hua

ʻO ka AMAT 0020-31624 Gas Distribution Plate kahi ʻāpana hoʻokaʻawale kahe kinoea i hana ʻia me ka pololei i hoʻohana nui ʻia i nā ʻōnaehana hana semiconductor Applied Materials (AMAT).

Hoʻolālā ʻia no nā wahi plasma like ʻole kiʻekiʻe, hiki i kēia ʻāpana ke hāʻawi pololei a paʻa hoʻi i nā kinoea hana ma luna o ka ʻili wafer, e kōkua ana i ka mālama ʻana i ke kūlike o ke kaʻina hana maikaʻi loa, ke ʻano like o ka ʻiliʻili, a me ke kūpaʻa plasma.

Key Hiʻona:

● ʻAno hoʻolaha kinoea pololei kiʻekiʻe

● Kū'ē maikaʻi loa i ka palaho plasma

● Hana ʻāpana haʻahaʻa

● Hoʻolālā hoʻololi kahe i hoʻomaikaʻi ʻia

● Paʻa wela kiʻekiʻe ma lalo o nā kūlana hana plasma

● Kūpono no nā noi hoʻokomo semiconductor a me ke kālai ʻana

Nā Kūlana Maʻamau ma nā ʻōnaehana AMAT

Ma nā ʻōnaehana hana plasma AMAT, hoʻokomo pinepine ʻia ka Gas Distribution Plate ma ka ʻaoʻao o luna o ke keʻena hana, ma luna pono o ka wahi hana wafer.

ʻO kāna hana nui, ʻo ia ka hoʻolaha like ʻana i nā kinoea hana i loko o ka ʻāpana hana plasma me ka mālama ʻana i ke kahe paʻa o ke kinoea a me ka nui o ka plasma ma ka ʻili wafer.

Aia nā Hana Koʻikoʻi:

1. Ka Hoʻolaha Kinoea Hana like

Hoʻokaʻawale pololei ka GDP i nā kinoea e like me:

SiH₄, NH₃, CF₄, O₂, NF₃, Ar

2. Ka Mana Hoʻohālikelike Plasma

Hoʻopilikia pololei ka hoʻolālā a me ke ʻano o ka lua o ka pā hoʻolaha kinoea:

● ka hoʻolaha ʻana o ka nui o ka plasma

● ke ʻano like o ka ion

● kūlike o ka hopena

3. Hoʻonui i ke Kahua Kahe

Kōkua nā ʻōnaehana GDP holomua i ka hoʻonui ʻana:

● ka manawa noho kinoea

● ka pono o ka hoʻohuihui mua ʻana

● nā loli o ke kahe o ke keʻena

He aha ka mea e hana ai ke hāʻule kahi GDP?

Ma muli o ka hoʻomalu pololei ʻana o ka Gas Distribution Plate i ke ʻano o ke kahe ʻana o ke kinoea o ke keʻena, hiki i ka hōʻino ʻana a i ʻole ka haumia o ka ʻāpana ke hoʻopilikia nui i ka hana o ke kaʻina hana a me ka hua hana.

ʻO nā pilikia hāʻule maʻamau e komo pū ana me:

1. ʻAʻole like ke kahe kinoea

Hiki i nā lua kinoea i ālai ʻia a ʻinoʻino paha ke hana i ka hoʻolaha like ʻole o ke kinoea, e hopena ana i:

● ʻokoʻa ka mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni

● ʻano kālai like ʻole

● ke ʻano plasma paʻa ʻole

2. Hoʻonui ʻia ka hanauna ʻāpana

ʻO ka ʻino ʻana o ka ʻili a i ʻole ka hōʻino ʻana o ka uhi ʻana e hoʻokomo i nā ʻāpana i loko o ke keʻena, e hoʻonui ana i ka pilikia o ka haumia a me ka pohō hua.

3. Ka paʻa ʻole o ka plasma

Hiki i nā ʻili GDP i hōʻino ʻia ke hoʻololi i nā ʻano plasma, e hoʻopilikia ana i:

● kūlike o ka waiho ʻana

● hiki ke hana hou ʻia ke kālai ʻana

● kūpaʻa o ke kaʻina hana o ke keʻena

● Hoʻemi ʻia ka Hua Hana

I ka hana semiconductor holomua, ʻoiai ka hōʻemi iki ʻana o ka GDP hiki ke alakaʻi i nā hemahema pae wafer a me ka emi ʻana o ka pono hana. No kēia kumu, he mea nui ka nānā mau ʻana, ka mālama ʻana, a me ka hoʻololi ʻana i nā ʻāpana GDP no nā hana hana semiconductor paʻa.

ʻO ka AMAT 0020-31624 Gas Distribution Plate kahi ʻāpana semiconductor koʻikoʻi e hōʻoiaʻiʻo ana i ka hoʻolaha pololei ʻana o ke kinoea a me ka like ʻana o ka plasma, e kākoʻo pololei ana i ka waiho paʻa ʻana, ka hana etching, a me ka hana semiconductor kiʻekiʻe.

No ke aha e koho ai iā Semixlab?

Ma Semixlab, loea mākou i nā ʻāpana hana semiconductor holomua i hana ʻia no nā noi wela kiʻekiʻe, plasma-intensive, a me nā noi contamination-sensitive.

Hāʻawi mākou i:

● Nā ʻāpana pani semiconductor kikoʻī

● Nā hoʻonā hana GDP maʻamau

● Kākoʻo ʻenekinia mea holomua

● Nā ʻāpana hana semiconductor maʻemaʻe kiʻekiʻe

no nā hale hana semiconductor, OEM, a me nā wahi hoʻomohala kaʻina hana holomua ma ka honua holoʻokoʻa.

E kāhea iā Semixlab i kēia lā e ʻimi i nā hoʻonā ʻāpana keʻena semiconductor hilinaʻi no kāu mau koi hana.

Nā noi maʻamau i ka hana ʻana o Semiconductor

Hoʻohana nui ʻia nā Papa Hoʻolaha Kinoea i nā kaʻina hana semiconductor i hoʻonui ʻia e ka plasma kahi e koʻikoʻi ai ka lawe ʻana i ke kinoea pololei a me ka hoʻolaha like ʻana o ka plasma.

1. PECVD (Hoʻokaʻawale ʻana o ka mahu kemika i hoʻonui ʻia i ka plasma)

He mea nui ka GDP i kēia mau mea:

● Hoʻokomo ʻana o SiNx

● Hoʻokomo ʻana o SiO₂

● ka hoʻokumu ʻana o ka papa passivation

● ka hana ʻana i ka ʻili lahilahi dielectric

2. ʻO ka ʻili ʻana o ka plasma

I loko o nā ʻōnaehana etching semiconductor, kōkua nā GDP i ka hoʻopaʻa ʻana i ka plasma a me ke kaʻina hana o ke kahe kinoea no:

● ʻokiʻoki dielectric

● ka ʻoki ʻokikene

● ke kālai ʻana i ke alakaʻi

● nā kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe keʻena

3. Nā Kaʻina Hana CVD / ALD Kiʻekiʻe

I kekahi mau ʻōnaehana waiho ʻana, hoʻohana ʻia nā Papa Hoʻolaha Kinoea e kākoʻo:

● ka hoʻokaʻawale mua

● ka mana kinoea pulse

● ka hana ʻana i ka ʻili lahilahi haʻahaʻa