Ka Hoʻolaha Kinoea Super E

ʻO ka Gas Distribution Super E 0200-00410 kahi papa hoʻolaha kinoea quartz (GDP) i hana ʻia me ka pololei i hoʻolālā ʻia no nā lako hana plasma semiconductor. Hoʻokomo ʻia ma ka ʻāpana o luna o ke keʻena hana, hōʻoia kēia ʻāpana i ka lawe like ʻana o nā kinoea hana ma luna o ka ʻili wafer, e hiki ai ke hana plasma paʻa a me nā hopena hana wafer kūlike.

Hana ʻia mai ka quartz fused kiʻekiʻe-grade semiconductor-grade, hāʻawi ka papa hoʻolaha kinoea 0200-00410 i ke kūpaʻa maikaʻi loa i ka pala plasma, ke kūpaʻa wela kiʻekiʻe, a me nā pae haumia haʻahaʻa loa. ʻO kēia mau waiwai e lilo ia i mea koʻikoʻi i nā wahi hana semiconductor holomua kahi e pono ai ke ʻano like o ke kaʻina hana a me ka maʻemaʻe o ke keʻena.

Ma Semixlab, loea mākou i ka hoʻolako ʻana i nā ʻāpana quartz kiʻekiʻe no nā lako semiconductor, i hana ʻia e hoʻokō i nā kūlana ʻoihana koʻikoʻi no ka pololei o ka dimensional, ka maʻemaʻe, a me ka hilinaʻi lōʻihi.

Hua'ōlelo Hua

Ua hoʻolālā ʻia ka 0200-00410 Gas Distribution Plate e hoʻolaha pololei i nā kinoea hana i loko o ke keʻena hopena, e hōʻoiaʻiʻo ana i ke kahe ʻana o ke kinoea paʻa a like ma luna o ka ʻili wafer holoʻokoʻa.

Hoʻohana nui ʻia kēia ʻāpana i nā lako hana etching plasma a me ka waiho ʻana, kahi e hoʻopili pololei ai ka kaohi pololei o ke kahe kinoea i ka paʻa o ka plasma, ke ʻano like o ka etch rate, a me ka hana holoʻokoʻa.

Nā Hiʻohiʻona Kūkulu Maʻamau

Ua hoʻolālā ʻia ka 0200-00410 Gas Distribution Plate me nā ʻano kūkulu i hoʻomaikaʻi ʻia no nā lako semiconductor kiʻekiʻe.

Hoʻolālā Puka Kinoea Multi-Hole:

Loaʻa i ka papa kahi pūʻulu o nā lua hoʻolaha kinoea i hana pono ʻia e ʻae i ka hoʻokomo kinoea i kāohi ʻia a like hoʻi i loko o ke keʻena hana.

Wahi Hana Wafer Hoʻohālikelike Geometry Pōʻai:

Hoʻohālikelike ka hoʻolālā poepoe me ka ʻāpana hana wafer, e hōʻoiaʻiʻo ana e hoʻokaʻawale like ʻia ke kahe o ke kinoea ma ka ʻili wafer.

Mīkini pololei:

Hoʻomaopopo nā kaʻina hana mīkini CNC holomua i nā ʻae ʻana o ka nui paʻa a me ke kau ʻana o nā lua kinoea pololei, he mea nui ia no ka mālama ʻana i nā ʻano kahe kinoea paʻa.

Hoʻopau ʻili Quartz laumania:

Ua hoʻopau pono ʻia ka ʻili o ka pā e hōʻemi i ka hana ʻana o nā ʻāpana a mālama i ka launa pū me nā wahi hana semiconductor maʻemaʻe loa.

Paʻa Paʻa:

ʻO ka mānoanoa i hoʻonui ʻia a me ka ikaika mechanical o ka pā quartz e hōʻoiaʻiʻo i ka hana hilinaʻi ma lalo o nā kūlana hana plasma kiʻekiʻe.

Kūlana ma nā Lako Semiconductor

ʻO ka Gas Distribution Plate kekahi o nā ʻāpana koʻikoʻi loa i loko o nā keʻena hana plasma semiconductor. ʻO kāna kuleana nui ka hōʻoia ʻana i ka lawe pololei ʻana o ke kinoea, kahi e hoʻopilikia pololei ai i ka hana o ke kaʻina hana a me ka maikaʻi o ka wafer.

Ka Hoʻolaha Kinoea Hana like:

ʻO ka hoʻolālā multi-hole e hiki ai ke hoʻolaha like ʻia nā kinoea hana ma ka ʻili wafer. Kōkua kēia i ka mālama ʻana i ka nui o ke kinoea ma loko o ke keʻena a hoʻomaikaʻi i ke ʻano like o ke kaʻina hana holoʻokoʻa.

Hoʻonui i ke kūpaʻa o ka plasma:

He mea koʻikoʻi ke kahe kinoea paʻa no ka mālama ʻana i ka nui o ka plasma. Ma ka hoʻolaha like ʻana i nā kinoea, hāʻawi ka papa hoʻolaha kinoea i ka hanauna plasma paʻa a me ka hoʻomaikaʻi ʻana i ka hana hou ʻana.

Hoʻomaikaʻi ʻana i ke ʻano like o ke kaʻina hana:

ʻO ka kaohi pololei o ke kahe ʻana o ke kinoea e hōʻoiaʻiʻo ana e kūlike ka nui o ke kahakaha ʻana a i ʻole ka waiho ʻana ma ka ʻili wafer, e hōʻemi ana i ka loli mai ka lihi a i ke kikowaena.

Ka Palekana o ke Keʻena:

Hana pū ka ʻāpana ma ke ʻano he pilina hoʻonohonoho ma waena o ka ʻōnaehana hoʻolako kinoea a me ke keʻena hopena, e kōkua ana i ka pale ʻana i nā ʻāpana o ke keʻena a puni me ka mālama ʻana i nā kūlana kaʻina hana paʻa.

Nā Mea a me nā Pōmaikaʻi Koʻikoʻi

Hana ʻia ka Gas Distribution Super E 0200-00410 me ka hoʻohana ʻana i ka quartz fused maʻemaʻe kiʻekiʻe (SiO₂), kahi mea i hoʻohana nui ʻia i ka hana semiconductor ma muli o kona mau waiwai kino a me nā kemika koʻikoʻi.

Ke kū'ē kiʻekiʻe o ka plasma: Hōʻike ʻo Quartz i ke kūpaʻa maikaʻi loa i nā kaiapuni plasma hoʻouka kaua i loaʻa pinepine ʻia i nā kaʻina hana semiconductor, me nā kemika fluorine-based a me chlorine-based. Hōʻoia kēia i ka hana paʻa a me ke ola hana lōʻihi.

Haʻahaʻa loa ka haumia: Loaʻa i ka quartz semiconductor-grade nā pae haʻahaʻa loa o nā haumia metala. Kōkua kēia i ka pale ʻana i ka haumia i loko o ke keʻena hana a kākoʻo i ka hua wafer kiʻekiʻe a me ka hilinaʻi o ka hāmeʻa.

ʻO ke kūpaʻa wela maikaʻi loa: Hāʻawi ʻo Quartz i ke kūpaʻa koʻikoʻi i nā mahana kiʻekiʻe a me ke kaʻapuni wela, e kūpono ana no nā kūlana hana plasma koi.

Kemimi Noho paʻa ka mea i ke kemika i nā wahi pane, e hōʻemi ana i ka hōʻino ʻana o ka ʻili a me ka hoʻēmi ʻana i ka hanauna ʻāpana i ka wā hana lōʻihi.

Hoʻokohu uila: Ma ke ʻano he mea hoʻokaʻawale uila, ʻaʻole hoʻopilikia ka quartz i nā kahua RF i loko o nā keʻena plasma, e ʻae ana i ka hoʻokumu ʻana o ka plasma paʻa a me nā kūlana hana kūlike.